氮化硅生產(chǎn)設備

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氮化硅陶瓷軸承氮化硅全陶瓷軸承的套圈及滾動(dòng)體采用氮化硅（Si3N4）陶瓷材料,保持器采用聚四氟乙烯、尼龍66,聚醚酰亞氨,氧化鋯、氮化硅,不銹鋼或特種航空鋁

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氮化硅薄膜制備設備采用德國Centrotherm公司生產(chǎn)的管式低頻PECVD設備,利用SE400advPV型橢偏儀測試薄膜的厚度和折射率,利用WT2000 設備掃描測試少子壽命,并

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