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設備展示,中國科學(xué)院微電子研究所,中國科學(xué)院 設備展示 柵氧/多晶/退火臥式爐管/LPCVD低應力氮化硅設備 稿件來(lái)源:ICAC 責任編輯:ICAC 發(fā)布時(shí)間:答案: 一般用線(xiàn)切割或者數控機床。 氮化硅陶瓷,是一種燒結時(shí)不收縮的無(wú)機材料陶瓷。氮化硅的強度很高,尤其是熱壓氮化硅,是世界上堅硬的物質(zhì)之一。具有高強度更多關(guān)于氮化硅的生產(chǎn)設備的問(wèn)題

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以硅粉為原料,通過(guò)硅粉氮化(直接氮化法)、塑化、造粒、冷等靜壓成型、常壓燒結等程序制備氮化硅陶瓷,各工序中涉及到哪些設備?(產(chǎn)量的話(huà)是大概2—3本實(shí)用新型涉及溶膠凝膠法制備氮化硅設備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種溶膠凝膠法制備氮化易于大規模生產(chǎn),但純度難以保證,氧含量和游離碳含量都比較高,需通

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